关于皇庭国际(意发功率)年产24万片新能源车用高端芯片项目环境影响报告表的拟批准公示
来源:安博体育电竞下载 发布时间:2024-12-31 15:05:09
根据建设项目环境影响评价审批程序的有关法律法规,经审查,我局拟对皇庭国际(意发功率)年产24万片新能源车用高端芯片项目作出审批意见。为保证此次审查工作的严肃性和公正性,现将该项目环境影响评价文件基本情况予以公示。公示期为2024年12月27日-2025年1月3日(5个工作日)。
听证告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,自公示起五日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目环评文件审批意见要求听证。
皇庭国际(意发功率)年产24万片新能源车用高端芯片项目位于德兴市高新区德能产业园5号楼,新增占地面积约3157.87m2,属改扩建项目。企业现有年产48万片6英寸功率器件晶圆项目,通过购置推进炉、清洗机、光刻机、烘箱、显影机、甩干机、腐蚀槽、去胶槽、蒸发台、减薄机、贴膜机、撕膜机、溅射台、注入机等生产设备扩建年产24万片新能源车用高端芯片项目。扩建后全厂产品方案为年产72万片6英寸功率器件晶圆。
项目以硅片为材料,通过硅片清洗、扩散/氧化、光刻、刻蚀、去胶、离子注入、化学气相沉积、溅射铝、减薄、检验等工序生产功率器件晶圆。
项目废气主要为酸性废气(硫酸雾、氟化物、氯化氢、二氧化硫、氮氧化物)、碱性废气(氨)、有机废气(TVOC(以非甲烷总烃计))、电子特气(氯化氢、氮氧化物、氟化物、二氧化硫)。
酸性废气、碱性废气、电子特气收集经碱液喷淋塔处理后通过15m高排气筒(DA003)排放;有机废气收集经二级活性炭处理后通过15m高排气筒(DA004)排放。硫酸雾、氟化物、氯化氢、二氧化硫、氮氧化物废气满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)二级排放限值要求;氨、臭气浓度满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)新、扩、改建项目二级标准;TVOC(以非甲烷总烃计)满足天津区域标准《工业公司挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2020)表1电子工业-半导体制造工艺挥发性有机物有组织排放标准;磷酸雾参照上海市区域标准《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)中相关标准。
项目废水主要为一般酸碱废水、软水制备废水、研磨废水、含氟废水、生活垃圾污水等。
一般酸碱废水依托现有综合废污水处理系统(综合调节池+二级反应池+斜管沉淀池)处理,研磨废水依托现有研磨废污水处理系统(三级反应池+斜管沉淀池+砂滤池)+综合废污水处理系统处理,含氟废水依托现有含氟废污水处理系统(四级反应池+斜管沉淀池+三级反应池+斜管沉淀池)+综合废污水处理系统处理,生活垃圾污水经化粪池处理,与软水制备废水一同纳入香屯工业园污水处理厂处理,其中pH、COD、BOD5、SS、氨氮、TN、TP应满足纳管标准,氟化物满足《电子工业让水受到污染的东西排放标准》(GB39731-2020)表1半导体器件间接排放标准,硫酸盐、氯化物满足《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T 31962-2015)中B等级标准限值,最终外排至乐安河。
项目噪声主要来自于各生产设备运转产生的噪声。通过选用低强度噪声设备,采取消声、减震等综合治理措施,以及加强厂区内绿化等措施,可有实际效果的减少设备噪声对厂界声环境的影响,项目厂界噪声排放可满足《工业公司厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准要求。
项目产生的危险废物按《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的有关要求管理;产生的一般固废按《普通工业固态废料贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)的要求管理;生活垃圾交由城市环卫部门统一处理。在严格按照固态废料管理管理法,确保固态废料在中转、运输和综合利用的过程中不造成二次污染的情况下,加强生产管理。
严格落实各项环境风险防控措施,认真制定环境风险应急预案,配备环境应急设施和装备。若发生环境风险事故,必须立即启动环境风险应急预案,控制并削减对外环境的污染影响。
项目卫生防护距离为5号厂房周边50m,6号厂房、化学品仓库周边100m。项目卫生防护距离范围内不得新建居民住宅、学校、医院等环境敏感性建筑物。
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